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一、電極材質純度要求
金屬離子溶出限制?
超純水兼容性?：電極材質需滿足ASTM E1-11標準，金屬離子溶出量<0.1ppb（如鈦Ta2O5涂層或鉑金電極）?；
表面粗糙度?：Ra≤0.2μm，減少微觀孔隙吸附雜質?。
材質選擇?
惰性金屬?：優先選用316L不銹鋼（電解拋光）或哈氏合金C-276，避免銅、鋅等易溶出金屬?；
絕緣涂層?：聚四氟乙烯（PTFE）或氧化鋁陶瓷涂層，隔離電極與介質直接接觸?。
二、避免電極污染的措施
結構設計?
非接觸式測量?：采用電容耦合技術，電極與介質間通過絕緣層（如藍寶石）隔離，避免物理接觸?；
自清潔功能?：集成超聲波振動模塊（頻率40kHz），周期性清除電極表面吸附層?。
工藝控制?
潔凈裝配?：電極在Class 100無塵室中封裝，避免組裝污染?；
惰性氣體保護?：傳感器腔體充填高純氮氣（純度≥99.999%），防止氧化?。
00:02 斷電斷水防風險
00:13 定位泄漏源
00:28 分級修復
三、驗證與維護
定期校準?：使用在線電阻率儀（如Mettler Toledo）監測介質純度變化，偏差>0.5MΩ?cm時觸發報警?；
電極壽命?：建議每12個月更換一次，或根據溶出檢測結果（ICP-MS分析）決定?。
通過上述措施，可確保電容式射頻導納物位計在超純水系統中長期穩定運行，同時維持介質的高純度要求?。
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